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深圳恒歌 DF 系列氣體擴(kuò)散器過(guò)濾器，是專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用打造的核心裝備。這款產(chǎn)品創(chuàng)新性融合了擴(kuò)散器的優(yōu)化氣流特性與高效過(guò)濾器的精密攔截能力，通過(guò)獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在實(shí)現(xiàn) 0.003μm 超高過(guò)濾精度的同時(shí)，徹底規(guī)避排氣過(guò)程...

深圳恒歌DF系列真空腔體快速放氣器，是針對(duì)半導(dǎo)體制造中真空腔體高效破真空需求研發(fā)的專(zhuān)用裝備。這款產(chǎn)品打破了“快速排氣與環(huán)境潔凈不可兼得”的行業(yè)瓶頸，通過(guò)不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)的高效流通特性與0.003μm精密過(guò)濾能力，在實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)快速放氣的同時(shí)...

恒歌全焊接直通型過(guò)濾器主要用于去除氣體或液體中的顆粒污染物，確保工業(yè)流體系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

在半導(dǎo)體制造中，大宗氣體作為關(guān)鍵生產(chǎn)原料，其純度直接關(guān)系到晶圓制程的穩(wěn)定性與產(chǎn)品合格率。深圳恒歌專(zhuān)注半導(dǎo)體領(lǐng)域需求，推出供應(yīng)半導(dǎo)體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過(guò)濾器，專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用設(shè)計(jì)，以全金屬結(jié)構(gòu)的可靠性與...

在微電子半導(dǎo)體晶圓制程中，工藝氣體的供應(yīng)效率與過(guò)濾質(zhì)量是提升生產(chǎn)效率的重要因素。深圳恒歌推出的微電子半導(dǎo)體晶圓制程工藝氣體過(guò)濾終端 316L 外殼快速進(jìn)氣擴(kuò)散器，將擴(kuò)散器的快速進(jìn)氣特性與高效過(guò)濾功能相結(jié)合，為晶圓制程提供高效、潔凈的氣體供應(yīng)...

半導(dǎo)體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)，不同環(huán)節(jié)對(duì)工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規(guī)格的過(guò)濾器難以滿(mǎn)足全場(chǎng)景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器，通過(guò) F 型、T 型、W 型三大類(lèi)型的細(xì)分設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體多工藝...

在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開(kāi)設(shè)備實(shí)現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過(guò)濾器直通過(guò)濾閥，將 “高壓過(guò)濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + ...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過(guò)濾片，是真空系統(tǒng)的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，還能在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運(yùn)行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類(lèi)真空室的通風(fēng)，無(wú)論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環(huán)過(guò)濾器，是真空系統(tǒng)中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，還能在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運(yùn)行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類(lèi)真空室的通風(fēng)，無(wú)論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)中，氣體的純度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率有著至關(guān)重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝領(lǐng)域的深厚積累，精心打造了專(zhuān)為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的特氣柜電子氣氣體過(guò)濾器，為這些行業(yè)提供了...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，氣體的高純度是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過(guò)濾器，采用先進(jìn)的納米級(jí)過(guò)濾技術(shù)，能夠高效去除氣體中的微小雜質(zhì)，確保氣體的高純度。該過(guò)濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mp...

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氣體的純度直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。深圳恒歌推出的BF系列大宗氣體專(zhuān)用過(guò)濾器，專(zhuān)為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線(xiàn)過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，是高純大流量過(guò)濾器的典范。該過(guò)濾器采用全316L不銹鋼精密打造，不僅堅(jiān)固耐用，還具備卓越的耐腐蝕...