半導體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個工藝環節，不同環節對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細分設計，實現了對半導體多工藝場景的全面適配，成為行業通用的凈化核心設備。

TF 系列工藝氣體專用過濾器全系采用整體 316L 不銹鋼結構，具備統一的高品質基因：耐高溫(-28~+482℃)、耐高壓(最高可達 414bar/6000psig)、耐腐蝕，可兼容半導體行業常用的各類工藝氣體，避免材質與氣體發生化學反應，確保長期穩定運行。同時，全系產品均具備超高顆粒攔截率，能精準清除 UHP 超純氣流中的微粒雜質，保障工藝氣體純凈度，從源頭規避污染風險。

針對不同場景需求，系列產品各有側重：F 型直通式過濾器以緊湊結構設計，適配空間受限的潔凈室氣路;T 型氣體過濾器憑借聯合閥帽設計與超高耐壓性能，成為高壓力工藝場景的安全之選;W 型一體式過濾器(全焊接結構)則以零泄漏優勢，滿足潔凈室嚴苛的密封要求。此外，系列產品均支持高通量、低阻力運行，減少壓力損耗，保障氣路流量穩定，同時安裝簡便，無需焊接，降低維護成本。

在品質把控上，TF 系列工藝氣體專用過濾器全系經過 100% 完整性測試與 100% 氨氣檢漏測試，每一臺設備都符合半導體行業的嚴苛標準。根據工藝需求，用戶可靈活選擇過濾元件規格(如 0.5~40μm)，部分型號還支持旁通道選配、逆流沖洗等功能，進一步提升使用便利性(注：F 型規格 2 無濾網式濾芯，W 型僅提供濾網式濾芯)。

無論是半導體芯片制造的核心工藝，還是 LED、光伏等精密電子行業的氣體處理，TF 系列工藝氣體專用過濾器都能以多場景適配能力與可靠的凈化性能，為企業提供定制化的工藝氣體凈化解決方案。