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半導體氣體過濾器
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儀器保護過濾器_儀器保護專用過濾器_工藝潔凈過濾器

  • MF系列儀器保護專用過濾器,全金屬材質,專為半導體氣體分配系統設計,兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下,能有效阻隔微粒侵襲,守護敏感氣體組件,延長設備壽命,預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型,也可在現有配管上安裝,為精密設備提供經濟高效的防污屏障。
  • 產品詳情

儀器保護專用過濾器 

阻隔微粒侵襲,守護敏感氣體組件 

為精密設備提供經濟高效的防污屏障


MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。

此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。

在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。

可選擇低壓型或高壓型、也可在現有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。

產品特點

整體316L不銹鋼結構

可以作為表面密封的過濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過濾器安裝)

耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

技術參數

濾芯材質    316L不銹鋼粉末燒結殼體/墊片材質  316L不銹鋼
表面處理   內表面   拋光+電解Ras0.2um最高使用溫度    400°C
外表面     Ra < 1.бum  
顆粒攔截粒徑  ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
(參考MPPS,所有顆粒)
顆粒攔截粒徑  ≥0.3um



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